本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了聲表面波器件光刻工藝的人員、環(huán)境、安全、材料、設(shè)備和儀器等一般要求，以及聲表面波器件光刻工藝的典型工藝流程、各工序技術(shù)、檢驗等詳細(xì)要求。