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聲表面波器件劃片工藝技術要求

標 準 號： SJ 21499-2018
替代情況：
發(fā)布單位： 國家國防科技工業(yè)局
起草單位： 中國電子科技集團公司
發(fā)布日期： 2018-01-18
實施日期： 2018-05-01
點 擊 數：
更新日期： 2022年09月18日
內容摘要

本標準規(guī)定了聲表面波器件劃片工藝的人員、環(huán)境、安全、材料、設備和儀器等一般要求，以及聲表面波器件劃片工藝的典型工藝流程、各工序技術、檢驗等詳細要求。


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