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晶圓凸點電鍍設備通用規(guī)范

標 準 號： SJ 21242-2018
替代情況：
發(fā)布單位： 國家國防科技工業(yè)局
起草單位： 中國電子科技集團公司第二研究所
發(fā)布日期： 2018-01-18
實施日期： 2018-05-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2022年09月17日
內容摘要

本規(guī)范規(guī)定了晶圓凸點電鍍設備的通用要求、質量保證規(guī)定和交貨準備。


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