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重?fù)桨雽?dǎo)體載流子濃度的紅外反射測(cè)試方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): SJ 2757-1987
替代情況:
發(fā)布單位: 電子工業(yè)部
起草單位: 電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)研究所
發(fā)布日期: 1987-02-10
實(shí)施日期: 1987-10-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2022年03月06日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)適用于測(cè)量重?fù)桨雽?dǎo)體體材料載流子濃度,也適用于測(cè)量外延層、埋層和擴(kuò)散層的載流子濃度。


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