本文件界定了以光柵特征與標(biāo)稱位置偏差來解釋光柵的全局和局部質(zhì)量參數(shù)的通用術(shù)語，并提供了測定參數(shù)所用的測量與評價方法分類的指南，以及在納米技術(shù)的不同應(yīng)用領(lǐng)域保證生產(chǎn)和使用光柵質(zhì)量的指南。