本文件描述了用安裝在掃描電鏡（SEM)或電子探針（EPMA)上的能譜儀對試樣上特定點或特定區(qū)域進行定量分析的方法。定量分析是指用質量分數(shù)(百分數(shù))表示元素的含量。正確鑒別試樣中所有元素是定量分析中必不可少的組成部分，因此，本文件也包含這方面的內容。本文件描述了多種能譜法定量分析方法。
本文件適用于利用參考物質或“無標樣”程序對質量分數(shù)高于1％的、原子序數(shù)Z>10的元素進行定量分析。
本文件也給出了對原子序數(shù)小于11的輕元素分析方法的信息。
注： 當沒有重疊峰，并且相應的特征X射線被強烈地激發(fā)時，能譜儀也可以測量質量分數(shù)在0.1％水平的元素。本文件主要應用于表面平整試樣的定量分析，基本方法也適用于表面不平整試樣的分析，但會引入附加的不確定度分量。
目前沒有公認的輕元素的準確能譜法（EDS)定量分析方法，以下是幾種常用于輕元素分析的 EDS方法。
a) 測量峰面積并對比峰強度。如附錄 A 中所述的原因，這種方法對輕元素分析結果的不確定度比重元素大。
b) 當已知試樣中的輕元素以化學計量的方式與重元素（Z>10)結合時，該輕元素的濃度可以通過與其他元素的相關濃度比進行測定。這種方法通常用于硅酸鹽礦物試樣中氧的測定。
c) 通過差值法計算濃度，即用100％ 減去能夠分析元素的總百分數(shù)即為輕元素的百分數(shù)。這種方法只有在很好的束流穩(wěn)定性和單獨測量至少一個參考樣品的條件下才能夠應用，并且還需要精確測定試樣中的其他元素。
附錄A總結了重元素存在時輕元素定量分析中的問題。如果儀器上安裝了能譜儀和波譜儀（WDS)，可以用WDS來克服EDS分析中的低能量譜峰重疊問題。然而，許多其他問題對于這兩種技術來說都是共同的。