本文件描述了通過掃描電子顯微鏡(SEM)檢測光學功能薄膜橫截面微結(jié)構(gòu)厚度(以下簡稱橫截面厚度)的方法。
本文件適用于厚度不小于50 nm的光學功能薄膜的單層或多層結(jié)構(gòu)的厚度測試。????
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