本文件規(guī)定了六氯乙硅烷的技術(shù)要求、采樣、試驗方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運輸、貯存及安全信息的要求。
本文件適用于由生產(chǎn)多晶硅副產(chǎn)的六氯乙硅烷經(jīng)純化制備的電子用六氯乙硅烷。