本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定對(duì)儀器化納米壓入試驗(yàn)用儀器的能力要求和試驗(yàn)的基本方法，還規(guī)定了對(duì)儀器校準(zhǔn)和檢驗(yàn)、壓頭、標(biāo)準(zhǔn)樣品的要求，以及儀器柔度和壓頭面積函數(shù)的確定方法，并給出了確定硬度和材料參數(shù)所需的數(shù)據(jù)分析方法和壓頭使用的注意事項(xiàng)。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于測(cè)試各種體材料和薄膜的硬度、模量等，其壓入深度范圍通常在納米量級(jí)，也可以擴(kuò)展至幾微米。