本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了含氟蝕刻廢液組成、處理處置方法及環(huán)境保護要求。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于TFT-LCD液晶顯示屏玻璃蝕刻、光伏行業(yè)蝕刻、IC硅片蝕刻、電極箔蝕刻及稀土蝕刻所產(chǎn)生含氟蝕刻廢液的處理處置。