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導(dǎo)航：安全管理網(wǎng)>> 安全標(biāo)準(zhǔn)>> 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)>> 化工>>正文

硅外延層晶體完整性檢驗(yàn)方法腐蝕法

標(biāo) 準(zhǔn) 號： GB/T 14142-2017

替代情況：

發(fā)布單位：中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

起草單位：南京國盛電子有限公司

發(fā)布日期： 2017-09-29

實(shí)施日期： 2018-04-01

點(diǎn) 擊數(shù)：

更新日期： 2018年02月08日

內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用化學(xué)腐蝕顯示，并用金相顯微鏡檢驗(yàn)硅外延層晶體完整性的方法。

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