本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了使用電子探針波譜法進(jìn)行元素面分析的方法。本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范了移動(dòng)電子束對(duì)試樣掃描的面分析(電子束面分析)和移動(dòng)試樣臺(tái)的面分析(大面積面分析)兩種模式的選擇,給出了五種數(shù)據(jù)處理的方式:原始X射線強(qiáng)度法、K值法、校正曲線法、對(duì)比法和基體校正法。