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表面化學(xué)分析 二次離子質(zhì)譜 硅中砷的深度剖析方法

標 準 號： GBT 32495-2016
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局、中國國家標準化管理委員會
起草單位： 中國電子科技集團公司第四十六研究所
發(fā)布日期： 2016-02-24
實施日期： 2017-01-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2017年03月21日
內(nèi)容摘要

本標準詳細規(guī)定了用扇形磁場或四極桿式二次離子質(zhì)譜儀對硅中砷進行深度剖析的方法。

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