本標準規(guī)定了俄歇電子能譜和X射線光電子能譜橫向分辨率、分析面積和分析器所能檢測到的樣品面積的測量方法。
本標準適用于俄歇電子能譜和X射線光電子能譜橫向分辨率、分析面積和分析器的檢測。
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