本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了瓶裝電子工業(yè)用氣體---三氟化氮的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、儲(chǔ)存和安全。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子工業(yè)用三氟化氮。它主要用作電子工業(yè)中等離子體工藝等離子體刻蝕劑和化學(xué)氣相沉積的清洗劑。