本標準規(guī)定了砷化氫的技術要求，試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。
本標準適用于砷化合物與酸反應獲得的砷化氫。在半導體器件制備過程中，砷化氫用于摻雜以及化合物半導體外延。
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