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硅多晶

標 準 號: YB 1601-1983
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國冶金工業(yè)部
起草單位: 峨眉半導體材料廠
發(fā)布日期: 1983-08-18
實施日期: 1984-10-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2011年12月25日
內(nèi)容摘要

      本標準適用于三氯氫硅、四氯化硅氫還原法和硅烷熱分解法抽取的棒狀高級硅多晶。

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