本標準規(guī)定了光掩模石英玻璃基板（以下簡稱石英玻璃基板)的術(shù)語和定義、要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標志、包裝、運輸和貯存。本標準適用于半導體集成電路、光通訊、微機電系統(tǒng)（MEMS)、光電器件和發(fā)光二級管（LED)等光刻工藝中光掩模石英玻璃基板。