1 開機(jī)前要檢查確認(rèn)零部件無松脫、卡死現(xiàn)象。
2 開啟冷卻水泵，保持冷卻水循環(huán)，冷卻水出水溫度不應(yīng)超過35℃進(jìn)水溫度差以不超過5℃為宜。
3 真空泵使用場所必須清潔干凈，泵溫升不大于30℃。
4 設(shè)備使用后必須清潔、擦拭干凈，關(guān)停動力電源、冷卻水等。
5 新機(jī)100-200小時運(yùn)轉(zhuǎn)后換油，以后2-3個月?lián)Q油一次。換出的油不能加入油杯。
6 每半年必須將閥門、儀表、儀器、電路修復(fù)、檢驗和檢查一次。
7 8000-12000小時運(yùn)轉(zhuǎn)后必須進(jìn)行大修，更換磨損機(jī)件、修復(fù)精度。（注意儀表真空度顯示可判斷機(jī)器運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常，管道及是否有泄漏）。
8 按規(guī)定位置進(jìn)行加油：
曲軸箱用30-40號機(jī)械油，
油杯用真空泵油或10-20號機(jī)械油（以每分鐘10-14滴為宜）